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六氟乙烷作為等離子蝕刻工作氣體在發(fā)展微電子工業(yè)方面起著重要作用,是加工超大規(guī)模集成塊工藝中所必需的介質,又用做制冷和空調的冷媒。六氟乙烷還可與HFC-23組成不損害臭氧層的共沸劑R-508B,R-508B用做多級壓縮循環(huán)中在低溫段替代CF-13和R-503的替代物,還可用做化學反應中的添氟劑,電氣設備的絕緣劑和高介電強度冷卻劑,器件表面清洗和光纖生產。
注意事項:
化學式 | C2F6 | 危險貨物編號 | 22034 | |
理化性質 | 外觀與性狀 | 無色無臭氣體。 | 溶解性 | 微溶于水 |
熔點(℃) | -101℃ | 相對密度(水=1) | 4.7 | |
沸點(℃) | -78℃ | 臨界溫度(℃) | 19.7℃ | |
毒性及健康危害 | 侵入途徑 | 吸入。 | ||
健康危害 | 純品幾乎無毒,空氣中濃度較高時,應該佩戴防毒面具。緊急事態(tài)搶救或撤離時,建議佩戴自給式呼吸器。避免高濃度吸入 | |||
急救方法 | 吸入:脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。呼吸困難給輸氧。呼吸停止時,立即進行人工呼吸。就醫(yī)。滅火方法:切斷氣源。噴水冷卻容器,可能的話將容器從火場移至空曠處。霧狀水。 |
產品規(guī)格 | 99.995% | 99.999% | ||||
氧氣(O2) | <4ppm | <1ppm | ||||
氮氣(N2) | <9ppm | <4ppm | ||||
甲烷 (CH4) | <5ppm | <1ppm | ||||
一氧化碳(CO) | <1ppm | <1ppm | ||||
二氧化碳(CO2) | <2ppm | <1ppm | ||||
水(H2O) | <7ppm | <1ppm | ||||
酸度(氯化氫) | <0.1ppmw | <0.1ppm |
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