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在鎢的氟化物中,六氟化鎢是唯一穩(wěn)定并被工業(yè)化生產(chǎn)的品種。它的主要用途是在電子工業(yè)中作為金屬鎢化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝的原材料,特別是用它制成的WSi2可用作大規(guī)模集成電路(LSI)中的配線材料。通過混合金屬的CVD工藝制得鎢和錸的復(fù)合涂層,可用于X-射線的發(fā)射電極。此外,六氟化鎢在電子行業(yè)中還主要用作半導(dǎo)體電極和導(dǎo)電漿糊等的原材料。 六氟化鎢還有許多非電子方面的應(yīng)用,例如通過CVD技術(shù)使鎢在鋼的表面上生成堅(jiān)硬的碳化鎢可用來改善鋼的表面性能。它還可用于制造某些鎢制部件,如鎢管和坩堝等。此外,WF6還被廣泛用作氟化劑、聚合催化劑及光學(xué)材料的原料等。
注意事項(xiàng):
化學(xué)式 | WF6 | 危險(xiǎn)貨物編號(hào) | 23025 | |
理化性質(zhì) | 外觀與性狀 | 無色無臭液體。 | 溶解性 | 水解(0℃ 1atm) |
熔點(diǎn)(℃) | 2.3℃ | 液態(tài)密度 | 13.29kg/m3(1atm21℃) | |
沸點(diǎn)(℃) | 17.2℃ | 臨界溫度(℃) | 169.85℃ | |
毒性及健康危害 | 侵入途徑 | 吸入。 | ||
健康危害 | 遇潮濕、空氣或水分解,散發(fā)也劇毒和有腐蝕性的氟化氫煙霧。該品對(duì)眼睛、皮膚和粘膜能引起非常嚴(yán)重的燒傷。 | |||
急救方法 | 吸入時(shí),迅速脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處,保持呼吸道通暢,如呼吸停止,立即進(jìn)行人工呼吸,就醫(yī);皮膚與液體接觸脫去污染的衣物,用流動(dòng)清水清洗。在灼傷出涂敷氧化鎂甘油軟膏或稀氨水,就醫(yī)。眼睛接觸液體時(shí),先用大量水沖洗數(shù)十分鐘,然后就醫(yī)。 |
產(chǎn)品規(guī)格 | 99.9999% | |||||
六氟化硫 (SF6) | <0.5 | |||||
氧氣(O2)+ 氬氣(Ar) | <0.5 | |||||
一氧化碳(CO) | <0.5 | |||||
二氧化碳(CO2) | <0.5 | |||||
四氟化碳(CF4) | <0.5 | |||||
三氟化氮 (NF3) | <0.5 | |||||
四氟化硅(SiF4) | <0.5 | |||||
氮?dú)猓∟2) | <1 | |||||
氫氟酸(HF) | <5 |
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