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產(chǎn)品中心

PRODUCT CENTER

產(chǎn)品等級(jí)： 電子級(jí)6N
六氟化鎢 WF6
  • 純度：99.9999%
  • 別名：Tungstenfluoride
  • 危險(xiǎn)化學(xué)品等級(jí)：2.3
  • 包裝：20L/40L鋼瓶
  • CAS NO: 7783-82-6
  • 標(biāo)識(shí)：有毒
  • 充裝量：50KG
  • UN NO: UN2196
  • 運(yùn)輸狀態(tài)：液態(tài)氣體
  • 氣體壓力：0.09Mpa
  • 閥門型號(hào)：CGA638
  • 接口螺紋：左旋 反絲
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產(chǎn)品介紹

   在鎢的氟化物中，六氟化鎢是唯一穩(wěn)定并被工業(yè)化生產(chǎn)的品種。它的主要用途是在電子工業(yè)中作為金屬鎢化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝的原材料，特別是用它制成的WSi2可用作大規(guī)模集成電路(LSI)中的配線材料。通過混合金屬的CVD工藝制得鎢和錸的復(fù)合涂層，可用于X-射線的發(fā)射電極。此外，六氟化鎢在電子行業(yè)中還主要用作半導(dǎo)體電極和導(dǎo)電漿糊等的原材料。 六氟化鎢還有許多非電子方面的應(yīng)用，例如通過CVD技術(shù)使鎢在鋼的表面上生成堅(jiān)硬的碳化鎢可用來改善鋼的表面性能。它還可用于制造某些鎢制部件，如鎢管和坩堝等。此外，WF6還被廣泛用作氟化劑、聚合催化劑及光學(xué)材料的原料等。 


注意事項(xiàng)：

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理化特性
化學(xué)式WF6危險(xiǎn)貨物編號(hào)23025
理化性質(zhì)外觀與性狀無色無臭液體。溶解性水解（0℃ 1atm）
熔點(diǎn)（℃）2.3℃  液態(tài)密度13.29kg/m3（1atm21℃）
沸點(diǎn)（℃）17.2℃臨界溫度（℃）169.85℃
毒性及健康危害侵入途徑吸入。
健康危害遇潮濕、空氣或水分解，散發(fā)也劇毒和有腐蝕性的氟化氫煙霧。該品對(duì)眼睛、皮膚和粘膜能引起非常嚴(yán)重的燒傷。
急救方法吸入時(shí)，迅速脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，如呼吸停止，立即進(jìn)行人工呼吸，就醫(yī)；皮膚與液體接觸脫去污染的衣物，用流動(dòng)清水清洗。在灼傷出涂敷氧化鎂甘油軟膏或稀氨水，就醫(yī)。眼睛接觸液體時(shí)，先用大量水沖洗數(shù)十分鐘，然后就醫(yī)。

 

技術(shù)指標(biāo)

 

產(chǎn)品規(guī)格

99.9999%

六氟化硫 (SF6)

＜0.5

氧氣(O2)+ 氬氣(Ar)

＜0.5

一氧化碳(CO)

＜0.5

二氧化碳(CO2)

＜0.5

四氟化碳（CF4）

＜0.5

三氟化氮 (NF3)

＜0.5

四氟化硅(SiF4)

＜0.5

氮?dú)猓∟2）＜1

氫氟酸(HF)

＜5

 

 

 

 

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