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四氟化碳在常溫常壓下為無(wú)色無(wú)臭有輕微醚味的氣體?？諝庵胁蝗紵?，是比較穩(wěn)定的無(wú)毒物質(zhì)。但是在高溫時(shí)，或與可燃?xì)怏w一同燃燒時(shí)，分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰基氟。微溶于水，在25℃，101.325kPa時(shí)，水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗，太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)，激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)，印刷電路生產(chǎn)中
注意事項(xiàng)：
| 化學(xué)式 | CF4 | 危險(xiǎn)貨物編號(hào) | 22033 | |
| 理化性質(zhì) | 外觀與性狀 | 無(wú)色無(wú)臭氣體。 | 飽和蒸氣壓（kpa） | 13.33kap(15.07) |
| 熔點(diǎn)（℃） | -186.8℃ | 相對(duì)密度(空氣=1) | 3.038 | |
| 沸點(diǎn)（℃） | -128℃ | 臨界溫度（℃） | -45.6℃ | |
| 毒性及健康危害 | 侵入途徑 | 吸入。 | ||
| 健康危害 | 吸入高濃度四氟化碳出現(xiàn)呼吸困難、嘔吐等窒息癥狀，接觸液體會(huì)造成冷燒傷。 | |||
| 急救方法 | 吸入時(shí)，迅速脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，保證溫暖，如出現(xiàn)凍瘡時(shí)，就醫(yī)；皮膚與液體接觸發(fā)生凍傷時(shí)，用大量水沖洗，不要脫掉衣服，并給予醫(yī)療護(hù)理；眼睛接觸液體時(shí)，先用大量水沖洗數(shù)分鐘，然后就醫(yī)。 | |||
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 99.99% | 99.999% | 99.9999% | |||||
氮?dú)猓∟2） | ＜40ppm | ＜5ppm | / | |||||
氧氣（O2） | ＜20ppm | ＜2ppm | ＜100ppb | |||||
氬氣（Ar） | / | / | ＜20ppb | |||||
氫氣（H2） | / | / | ＜100ppb | |||||
總烴THC | ＜10ppm | ＜1ppm | ＜50ppb | |||||
一氧化碳（CO） | ＜10ppm | ＜1ppm | ＜50ppb | |||||
二氧化碳（CO2） | ＜10ppm | ＜1ppm | ＜100ppb | |||||
水（H2O） | ＜10ppm | ＜2ppm | ＜200ppb | |||||
時(shí)間：周一至周五（9:00-18:00）
電話：028-67870005
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